基本信息出版社：国防工业出版社
页码：371 页
出版日期：2006年01月
ISBN：7118041211
条形码：9787118041217
版本：第1版
装帧：平装
开本：16开 Pages Per Sheet
丛书名：研究生系列规划教材

编辑推荐 本书概要地介绍MEMS的设计与制造，针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必要的基础。
目录
第1章 MEMS的概论
1.1 MEMS的形成
1.1.1 交叉学科对科技发展的作用
1.1.2 MEMS的发展
1.2 MEMS的原理设计
1.2.1 工程技术的三要素
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