基本信息出版社：化学工业出版社
页码：194 页
出版日期：2006年03月
ISBN：7502581588
条形码：9787502581589
版本：第1版
装帧：平装
开本：16开 Pages Per Sheet

内容简介 　　本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
　　本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。
编辑推荐 　　本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
　　本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。
目录
第1章 MEMS系统简介
1.1MEMS技术现状及前景
1.1.1MlEMS的基本概念与发展历史
1.1.2MEMS的应用
1.1.3MEMS技术和器件的研究进展
1.2MEMS器件及系统的研究进展
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