基本信息出版社：东南大学出版社
页码：500 页
出版日期：2007年07月
ISBN：9787564107840
条形码：9787564107840
版本：第1版
装帧：平装
开本：16开

内容简介 本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。
编辑推荐 本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。
本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。
目录
1 制造工艺
　1.1 CMOS工艺
　　1.1.1 基本的微加工步骤
　　1.1.2 CMOS工艺流程
　　1.1.3 用于微纳系统的CMOS材料
　　1.1.4 CMOS微系统
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