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电容式微机械陀螺仪设计

发布时间: 2010-04-13 04:59:57 作者:

 电容式微机械陀螺仪设计


基本信息出版社:国防工业出版社
页码:182 页
出版日期:2006年07月
ISBN:7118045853
条形码:9787118045857
版本:第1版
装帧:平装
开本:32开

内容简介   本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺,着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现,最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。
  本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书,也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
编辑推荐   本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺,着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现,最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。
  本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书,也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。
目录
第一章 绪论
 1.1微机械陀螺的技术分类
 1.2微机械陀螺的发展现状
  1.2.1压电石英陀螺
  1.2.2压电陶瓷陀螺
  1.2.3硅微机械陀螺
……
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