基本信息出版社：中国科学技术大学出版社
页码：241 页
出版日期：2003年03月
ISBN：7312014879
条形码：9787312014871
版本：第1版
装帧：平装
开本：0开 Pages Per Sheet
正文语种：中文
丛书名：高水平大学重点学科建设教材
内容简介 《微型机械导论》共11章，较全面、系统地介绍了微型机械及其发展历史，怎样制作微型机械。用通俗易懂的语言，分别介绍了用传统的超精密加工方法、半导体工艺加工方法和一些有发展前景的加工方法，特别对最常用的硅的体微型机械加工和表面微型机械加工做了较详细的介绍：介绍了微型传感器、微型执行器和微系统以及典型的实例；重点介绍了微型机械的设计、建模和检测技术：展望了微型机械的未来，对基础研究、制作工艺等各方面的发展做了阐述；此外，还介绍了国外对微型机械人才的培养情况。
作为填补国内空缺的入门教材，《微型机械导论》的特点是：立足学科发展前沿，内容丰富多彩，深入浅出，通俗易懂，图文并茂；信息量大，覆盖面广。
《微型机械导论》可作本学科本科教育教材和研究生的参考书，也可作为相关科技工作者、管理人员和其他感兴趣读者的参考资料。
微型机械，即微机电系统(micro electronmechanical system)，是20世纪末兴起的、21世纪初快速发展的高科技前沿领域。
媒体推荐 书评
微型机械也称微机电系统(MEMS)，是20世纪末、21世纪初兴起的工程科学前沿，是当前一个十分活跃的研究领域。它涉及多学科的交叉：如物理学。现代光学、现代力学，化学，生物学等基础学科，以及材料、机械、电子、信息等各工程技术学科。
微机电系统有着广泛的应用前景，在全球范围内，市场呈指数上升的趋势，在我国也将成为国民经济的新的增长点，它在汽车工业、生物医学工程、航天航空、精密仪器、移动通信、国防科技等方面都有极大的发展潜力。
微机电系统的研究也将带动新的学科和新技术的发展，如微流体、微传热、微摩擦、微光学以及微型机械的设计原理和方法、微型机械的制作工艺、微型机械材料及其特性研究、微细测试技术和相应设备的研制等，已成为科技工作者关注的热点。
随着微机电系统的发展，对相关人才的要求越来越高，要掌握现代的数、理、力学基础，要了解微机电系统技术的方方面面，要掌握光、机、电等多学科的新进展，既要会理论建模，又要有熟练的测试技术，这给现代教育提出了一个很大的挑战，也是关系到微机电系统的未来和相关产业的可持续发展的当务之急。作为创建高水平大学的中国科学技术大学，必须开拓创新，与时俱进，在教学改革的基础上，完成有关微机电系统方面的学科建设以及系列课程的教
学计划、教学大纲和教材建设。在这方面，世界发达国家的各著名大学和研究院、所正在进行有益的探索，开设相关课程，编写教材，建立新的教学体系等，并取得了一定的成效。这些都可为我们借鉴和参考。
目前，在国内尚未见到此类著作和合适的教材。本书作为系列教材的第一册，是一本微型机械的入门教材。几年来，作者王琪民教授先后负责和参与了与微机电系统有关的多项国家自然科学基金项目，并且多次成功地开设了微型机械导论seminar课，收集了国内外的大量的文献资料。在教学实践的基础上，结合科研和工作中的体会，进行整理加工，编写成这本教材。它通俗易懂，深浅适宜；图文并茂；信息量大。覆盖面广，是一个好的开端。
微机电系统的发展日新月异，新的内容层出不穷，希望能有不断跟踪最新发展的新著作出现，为微型机械的人才培养做出贡献。
中国科学技术大学伍小平
2003年1月1日于合肥
目录
第1章 初识微型机械
1.1 一个引人入胜的话题
1.1.1 从童话中的小人国谈起
1.1.2 科幻小说中的微型机械
1.1.3 微型科技的曙光
1.2 小机械，大机会
1.2.1 历史的回顾
1.2.2 关于微型机械的起源
1.2.3 微型科技为什么如此受欢迎
1.2.4 小机械包含着大课题
1.3 什么是微机电系统
1.4 有关的国际刊物、会议和网站
参考文献
第2章 怎样制作微型机械（一）——传统的超精密加工方法
2.1 概述
2.1.1 微型机械加工的特点
2.1.2 常用的微型机械加工方法的分类
2.2 利用超精密加工工具加工微型器材
2.2.1 微细磨削加工
2.2.2 微细磨料加工
2.2.3 微细放电加工（MEDM）
2.2.4 金属丝放电磨削加工（QEDG）
2.3 特种加工工艺
2.3.1 激光束微细加工技术
2.3.2 电子束微细加工技术
2.3.3 聚焦离子束（FIB）微细加工技术
参考文献
第3章 怎样制作微型机械（二）——微型机械中常用的IC工艺
3.1 概述
3.2 IC工艺的主要步骤
3.2.1 晶体生长和晶片制备（Crystal Growth and Wafering）
……
第4章 怎样制作微型机械（三）——硅微结构制作工艺
第5章 怎样制作微型机械（四）——一些有发展前景的工艺
第6章 微型传感器
第7章 微型执行器
第8章 微结构与微系统
第9章 微型机械的设计和建模
第10章 微型机械的检测技术
第11章 展望微型机械的未来
附录 微型机械常用词汇（英汉对照）
……
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