基本信息出版社：科学
页码：250 页
出版日期：2007年01月
ISBN：9787030182401
条形码：9787030182401
版本：第1版
装帧：平装
开本：16开

内容简介 光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。
编辑推荐 光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结果，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。
目录
Preface
1 From Optical MEMS to Micromechanical Photonics
1.1 Micromechanical Photonics-An Emerging Technology
1.2 Fabrication Methods
1.2.1 Bulk and Surface Micromachining
1.2.2 Three-Dimensional Micromachining
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