基本信息出版社：机械工业出版社
页码：530 页
出版日期：2008年01月
ISBN：7111231678/9787111231677
条形码：9787111231677
版本：第1版
装帧：平装
开本：16
正文语种：英语
丛书名：经典原版书库
图书品牌：华章图书

内容简介 本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文的前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼了四个典型的传感器实例；惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工业制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
本书被美国伊利诺伊大学、斯坦福大学等选为教材。
目录
PREFACE
A NOTE TO INSTRUCTORS
ABOUT THE AUTHOR
NOTATIONAL CONVENTIONS
Chapter 1 introduction
Chapter 2 introduction to Microfabrication
Chapter 3 Review of Essential Electrical and Mechanical Concepts
Chapter 4 Electrostatic Sensing and Actuation
Chapter 5 Thermal Sensing and Actuation
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